Работы. Мемуар - Александр Феликсович Борун Страница 26

Но, как я заметил, один француз, хотя замечаний не делал, но как-то подозрительно посмеивался. Потом я при его докладе понял, почему. В его работе источником электронов для возбуждения пиков Оже было синхротронное излучение какого-то ускорителя элементарных частиц. Оно для этих ускорителей – паразитное, заставляет вкладывать гораздо больше энергии. Но оно с успехом заменит рентгеновскую пушку, у него энергетическая ширина гораздо уже. В результате в его спектрах было прекрасное разрешение, гораздо лучше всего, что я с трудом добивался хитрыми способами. Ему не нужно было стоить компьютерную модель низкоэнергетического пика кремния в соединениях с кислородом и азотом. Попадись ему такой спектр – он бы отлично видел в нём отдельные пики кремния в Si, SiO2, Si3N4, Si2N2O и пр.

Зато потом эта встреча со смешливым французом сыграла свою роль при написании книги «Критика эфиродинамики». Автор критикуемой теории, «эфиродинамики», В.А. Ацюковский, утверждал, в частности, что синхротронного излучения не существует. Посмотрел бы на сайт Курчатовского института, где приглашались им попользоваться как раз такие исследователи, как тот француз. Но моя работа в ИПТМ тогда уже заканчивалась, после той конференции я там недолго проработал. Да и кто бы мне позволил тащить Оже-спектрометр в Курчатовский институт и приделывать там его к их ускорителю.

Поскольку работа по разрешению Оже-пиков соединений кремния стала потом заметной частью диссера про исследование скрытых слоёв оксинитрида кремния (хотя там были и другие вещи), я уже при докладе диссера (уж он-то, конечно, проходит обсуждение в институте) учёл те прошлые черноголовские замечания. Точнее, я их учёл не в основном тексте, а приготовил доказательства, что я прав, а они, со своими сомнениями, нет. И что же? Как я и предполагал, те же люди пришли на обсуждение и опять проявили претензии в форме сомнений. Только все мои заготовленные возражения не пригодились, потому что их сомнения теперь носили прямо противоположный характер! Боюсь, это не то чтобы они просто забыли свои прежние претензии, а новые сформировали случайно. Скорее, это было сделано именно для того, чтобы я, если подготовил возражения, попал с ними впросак. Но жаловаться мне не на что, на самом деле. Если это и было проявление недоброжелательности черноголовских сотрудников института к московским, для меня оно оказалось полезным. Потому что к защите диссера я подготовил возражения и на новые их сомнения, и на все, какие мог придумать сам. Собственно, так и надо было поступить с самого начала. Это, вообще-то, обязанность учёного. Но ведь всегда кажется, что всё и так ясно. Ну, там, где кажется, что ясно. А так – неясного всегда остаётся больше, и именно о нём хочется думать. Вот и получаются сомнительные места в тылу. Нет, в данном случае они не были на самом деле сомнительными, но, чтобы это показать, требовалось подумать и подобрать аргументы.

Изобретения

В отличие от Саратова, где на заводе были месячники подачи рацпредложений, в ИПТМ всё оказалось гораздо серьёзнее. Тут Данилин оформлял, с некоторой моей помощью, изобретения. Несколько штук оформил, всё на разные способы получения скрытого изолирующего слоя. Хм, это я так помню, что несколько, а в списке своих публикаций до 2003 года я нашёл только две заявки. Неважно. При этом и я с этим формализмом познакомился. Как положено, сперва описывается то, что было до, и что призвано улучшить данное изобретение, а потом в одной фразе, обязательно в одной, пусть там будет сколько угодно придаточных, краткое описание. Например, после перечисления недостатков известных способов и формулировки цели изобретения: улучшение качества структуры за счет улучшения электрофизических свойств слоя кремния на диэлектрике и увеличения его толщины. «Поставленная цель достигается тем, что в известном способе изготовления кремниевых многослойных структур, включающем создание в кремниевой подложке скрытого слоя диэлектрика на основе нитрида кремния с помощью повторяющихся циклов имплантация ионов азота – отжиг, при этом цикл по дозе имплантации ионов азота составляет (1-10)·1016 см–2, а суммарная доза имплантации (2-6)·1017 см–2, новым является то, что поддерживают температуру подложки при имплантации в интервале 200-450°С»… в результате чего при проведении заключительного отжига… что улучшает такие характеристики слоя, как… и т.д.

Вообще-то, если вспомнить, не сам по себе Саратов виноват в том, что вместо изобретений оформлялись рацпредложения, а ОКБ завода. В принципе, кто мне мешал оформить тот держатель в форме воронки для определения местоположения в пространстве фокуса анализатора как изобретение? Только то, что я его не осуществил и не ручался за его эффективность. А вот мой отец оформил много изобретений по своей конструкторской тематике. Насколько я понял, в основном в области расчёта сложных кулачковых механизмов. Если кто не знает, кулачок часто выглядит как цилиндр с канавкой сложной формы на боковой поверхности. По ней скользит при вращении кулачка конец рычага, другой конец выполняет сложное движение запрограммированного этой канавкой характера. Такое программирование движения без ЭВМ и вообще передачи электрических сигналов. Но там куча чисто механических ограничений, нельзя же сделать резкий угол, в котором рычаг застрянет. Причём ограничения зависят от скорости. И даже от конструкционных свойств металлов, из которых сделаны кулачок и рычаг. В общем, довольно сложная область механики. Но я отвлёкся.

Защита диссера и увольнение

Как и предсказывал Горелик в Рязани, хотя я и старался больше времени уделять экспериментальной работе, всякие формулы сами собой проникали в диссер. И методические наработки в области Оже, кроме собственно исследования скрытого слоя оксинитрида в образцах, выдаваемых Данилиным. Другие члены его группы занимались исследованиями тех же образцов другими методами, на электронном микроскопе, установке рентгеноструктурного анализа и т.д. Все ездили на семинары и конференции. Но только внутри СССР, те же доклады вывозили наружу Данилин и более высокие начальники. Это мне с Тайванем повезло.

И тут наметилась интересная закономерность. Все члены группы стали защищать диссертации, и не чтобы по мере лучшей готовности набранного материала и скорости написания, а по мере наглости выйти на защиту с сырой работой. Сперва защитились, соответственно, люди с самыми плохими работами, потом с теми, что чуть лучше… Но! Естественно, что касается экспериментального материала, то он был у всех общий, так что при каждой защите остальным приходилось ещё немного поработать и получить данные по новым образцам. И позаимствовать у меня новые придуманные формулы. Короче, я отнёсся к своему диссеру настолько строго, что Данилин раньше меня защитился. На доктора, разумеется. Кандидатом он уже был. Зато потом он вовсю стал способствовать моей защите, читал диссер, делал замечания («проще надо писать! Это тебе всё понятно, а диссовету – нет!»).

И организовал защиту